Weißlichtinterferometer
Ein Weißlichtinterferometer ist ein Messgerät zum berührungslosen Vermessen von Werkstücken mit hoher Auflösung.Weißlichtinterferometer nutzen die Tatsache aus, dass die Kohärenzlänge von Weißlicht nur ca. 1.5 µm beträgt. Es werden Genauigkeiten im Bereich von wenigen Nanometern erreicht.
Weißlichtinterferometer gibt es als Interferenzmikroskope und als ?großflächige? Messgeräte mit Messfeldern bis zu 50 mm.