Schwefelhexafluorid

Schwefelhexafluorid (SF₆) ist ein farbloses, geruchloses und sehr reaktionsträges Gas. Das Molekulargewicht beträgt 146,054 g/mol. Der Schmelzpunkt liegt bei -50,8 °C. Der Sublimationspunkt bei -63,8 °C.

Wegen seiner Struktur (koordinative Sättigung und sterische Hinderung) ist es sehr reaktionsträge. Deswegen wird es als Isolationsgas in der Hochspannungstechnik eingesetzt, z.B. in Hochspannungsschaltern. Als thermisches Isoliergas wurde SF6 in Isolierglasscheiben verwendet. Weiterhin wird SF6 in Halbleiter-, Displaytechnik und Mikrotechnik eingesetzt. Im Halbleiterbereich dient es als Ätzgas und wird als Isoliergas beim Routinetesten mikroelektronischer Schaltkreise im Rahmen der Qualitätssicherung verwendet. Außerdem wird es zum Reinigungsätzen eingesetzt. Dies ist auch das primäre Einsatzgebiet von SF6 im Display-Bereich. In der Mikrotechnik ist SF6 ein Schlüsselmedium im sehr verbreiteten RIE Prozess (RIE-Prozess = Reactive Ion Etching). Weiterhin verwendet man SF6 in großem Umfang als Schutzgas bei der technischen Erzeugung von Magnesium. Das spezifisch schwere SF6 verhindert hier den Kontakt der heißen Metallschmelze mit der Luft. Prozessbedingt werden bei dieser Anwendung sehr große SF6-Mengen in die Atmosphäre emittiert .

SF₆ ist ein Treibhausgas. Seine Wirkung ist etwa 22.000 mal grösser als diejenige von CO₂.

Isostere von SF₆ sind z.B. die Kationen PF₆^-, SiF₆^2-.